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真空零件和系统的检漏方法

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信息编号：	577300
发布地区：	北京市
所属栏目：	真空设计选配检漏
发布日期：	2013/10/11 15:06:53
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发布用户：[王嘉升]

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    1．概漏的基本概念    真空检漏就是检测真空系统的漏气部位及其大小的过程。
    漏气也叫实漏，是气体通过系统上的漏孔或间隙从高压侧流到低压侧的现象。
    虚漏，是相对实漏而言的一种物理现象。这种现象是由于材料放气、解吸、凝结气体的再蒸发、气体通过器壁的渗透及系统内死空间中气体的流出等原因引起真空系统中气体压力升高的现象。
    气密性是表征真空系统器壁防止气体渗透的性能，它包括通过漏孔（或间隙）的漏气和材质的渗气。
    最小可检漏率是指某种检漏方法能够检测出的漏率的最小值。
    最佳灵敏度是指检漏仪器或检漏方法在最佳条件下所能检测出的最小漏率。对于检漏仪器来讲，最佳灵敏度又称作仪器灵敏度。
    检漏灵敏度是指在具体条件下，某种检漏方法所能检测出的最小漏率。检漏灵敏度又称作有效灵敏度。
    反应时间，即从检漏方法开始实施（如开始喷吹示漏气体）到指示方法（如仪表）做出反应的时间。
    消除时间，即从检漏方法停止（如停止喷吹且开始抽出示漏气体）到指示方法的指示消失的时间。
    漏率，即单位时间内流过漏孔（包括间隙）的气体量。
    2检漏方法的分类
    检漏方法很多，根据被检件所处的状态可分为充压检漏法、真空检漏法及其它检漏法。
    充压检漏法：在被检件内部充入一定压力的示漏物质，如果被检件上有漏孔，示漏物质便从漏孔漏出，用一定的方法或仪器在被检件外部检测出从漏孔漏出的示漏物质，从而判定漏孔的存在、位置及漏率的大小，此即充压检漏法。
    真空检漏法：被检件和检漏器的敏感元件处于真空状态，在被检件的外部施加示漏物质，如果有漏孔，示漏物质就会通过漏孔进入被检件和敏感元件的空间，由敏感元件检测出示漏物质，从而可以判定漏孔的存在、位置利漏率的大小，这就是真空检漏法。
    其它检漏法：被检件既不充压也不抽真空，或其外部受压等方法归入其它检漏法。背压法就是其中主要方法之一。
    所谓“背压检漏法”是利用背压室先将示漏气体由漏孔充入被检件，然后在真空状态下使示漏气体再从被检件中漏出．以某种方法（或检漏仪）检测漏出的示漏气体，判定被检件的总漏率的方法。

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