型号 : EXT75DX，EXT556H
品牌 : Edwards,英国爱德华
简介 : EXT 涡轮分子泵提供可靠的超高真空
Edwards EXT 涡轮分子泵和复合分子泵提供可靠的、无碳氢化合物的高真空和超高真空。EXT 使用多级轴流式涡轮机以及磁性陶瓷轴承，可为高临界前级线路压力制程提供无油、无振动的操作，同时将维护需求降至最低。 产品介绍 概述
EXT75DX /EXT556H复合涡轮分子泵将经实践证明的陶瓷机械下轴承、干式永磁上轴承和Holweck 分级技术与带来额外便利性的板上24V 控制器结合在了一起，不需要TIC 控制器即可兼容并行和串行通信。
功能和优势
高临界前级压力
大容量流速
快速抽气性能
多级 Holweck 分子牵引机制为轻气体提供了高压缩量
极限真空 ＜10-10 mbar
经验证的 EXT 性能和可靠性
混合轴承配置
免维护 – 储油器永久密封
机加工整体转子
直流电机驱动
技术参数
EXT75DX
EXT556H
入口法兰
DN63ISO-K、DN63CF、DN40NW 或 DN100ISO-K
DN160ISO-K/DN160CF
抽速（l/s）
N2
61
540
He
57
580
H2
53
500
压缩比
N2
＞1 × 1011
＞1 × 1010
He
1 x 106
1 x 108
H2
5 x 104
5 x 106
极限压力 （mbar）
＜10-10
带有 RV 前级泵 ISO/CF
＜5 x 10-9 / 5 x 10-10
带有隔膜前级泵 ISO/CF
＜5 x 10-8 / 5 x 10-9
推荐前级泵*
RV5/nXDS5i
RV12/nXDS10i
水冷却（15 °C 水，40 °C 环境温度）
2 × 10-2 mbar
2 x 10-3 mbar
强制空气冷却，35°C 环境温度
1 × 10-2 mbar
5 x 10-4 mbar
标称旋转速度
90000 rpm
50000 rpm
到 90％ 速度的启动时间
110 s ‡
6.5min
冷却方法#
强制空气/水
强制空气/水
强制空气冷却的环境空气温度
5 - 35 °C
0 °C - 35 °C
最小冷却水流速（15 °C 的水）
15 l h-1
15 l h-1
水温范围
10 - 20 °C
10 - 20 °C
最高入口法兰温度
100 °C
80 °C
操作姿态
垂直且竖直，直到
垂直且竖直，
水平
直到水平
1 米处的噪音级别
＜50 dB（A）
＜60 dB（A）
推荐控制器
TIC100 分子泵和仪器控制器
EXC300
静止电功率
10 W
35 W
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