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北京中科帅虹真空设备厂
北京市
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涡轮分子泵系列
固顶信息本条信息离结束日期还有1291天↑
信息编号:
577273
发布地区:
北京市
所属栏目:
真空泵阀门仪表
发布日期:
2012/11/29 19:33:19
来源 I P:
用户信息
发布用户:[管理员]
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产品编号:549504016
产品价格:0
产品规格: 
生产厂家 : 
所属类别:真空泵>>分子泵
 
 

产品详情: 
    
  
TY系列复合分子泵对大气的抽速曲线
 TY系列复合分子泵对氮气及氢气的压缩比曲线
 

TY系列复合分子泵安装尺寸表 
 
数据 
 TYFB-600复合分子泵 
 TYFB-1200复合分子泵 
 TYFB-1600复合分子泵 
 
高真空法兰 
 150 CF
 160 ISO-K 
 200 CF
 200 ISO-K 
 250 CF
 250 ISO-K 
 
D1
 φ202
 φ180
 φ253
 φ240
 φ305
 φ290
 
D2
 φ236
 φ236
 φ267
 φ267
 φ296
 φ296
 
D3
 □145.7
 □145.7
 □167.6
 □167.6
 □183.8
 □183.8
 
L1
 128
 128
 142
 142
 161
 161
 
L2
 137
 137
 152
 152
 166
 166
 
H1
 395.5
 395.5
 393
 393
 394
 394
 
H2
 108
 108
 108
 108
 110
 110
 
H3
 135.5
 135.5
 135.5
 135.5
 142.5
 142.5
 
H4
 104
 104
 104
 104
 104
 104
 
泵腿螺钉孔 
 4-M8
 4-M8
 4-M8
 4-M8
 4-M8
 4-M8
 

TY系列复合分子泵参数表 
 
技术数据 
 TYFB-600复合分子泵 
 TYFB-1200复合分子泵 
 TYFB-1600复合分子泵 
 
高真空法兰(mm)
 150 CF
 160 ISO-K 
 200 CF
 200 ISO-K 
 250 CF
 250 ISO-K 
 
前级管道法兰(mm)
 40 KF
 40 KF
 50 KF
 
抽气速(L/S)
 600
 1200
 1600
 
压缩比 
 N2
 >109
 >109
 >109
 
H2
 >8X103
 >1X104
 >1X104
 
极限压强(Pa)帕 
 <8×10-8
 <5×10-7
 <8×10-8
 <5×10-7
 <8×10-8
 <5×10-7
 
电机转数(n/min)
 24000
 24000
 21000
 
振动值 
 ≤0.1μm 
 ≤0.1μm 
 ≤0.15μm 
 
启动时间(min)
 <5
 <5
 <6
 
建议采用的前级泵 
 4-8 L/S
 8-15 L/S
 15 L/S
 
冷却方式 
 水冷(风冷)
 水冷(风冷)
 水冷(风冷)
 
风冷泵环境温度 
 ≤25℃ 
 ≤25℃ 
 ≤25℃ 
 
水冷冷却水温度 
 ≤20℃ 
 ≤20℃ 
 ≤20℃ 
 
水冷冷却水流量(L/min)
 1
 1
 1
 
泵体烘烤温度 
 <120℃
 <120℃
 <120℃
 
加热器功率(w)
 <550
 <600
 <700
 
加热器输入电压(v)
 AC220
 AC220
 AC220
 
安装方向 
 垂直±5° 
 垂直±5° 
 垂直±5° 
 
泵重量(kg)
 ≈29
 ≈34
 ≈39
 

    TY系列复合分子泵是靠高速转动的转子携带气体分子获得超高真空的一种机械真空泵,是由涡轮分子泵和盘式牵引泵组合而成,它同时具有涡轮分子泵分子流时抽速大、压缩比高,牵引泵高压强时抽速大、压缩比高的特点,扩展了复合分子泵的应用范围。 
复合分子泵对被抽气体无选择性、无记忆效应,由于对分子量大的气体有很高的压缩比,因此该泵不需要冷阱和油挡板即可获得清洁的高真空和超高真空。其广泛应用于电子、冶金、化工、科研及真空技术的各个领域。 
 
水冷泵外形(CF法兰)
 风冷泵外型(ISO-K法兰) 

  
 TY系列风冷复合分子泵的性能与水冷复合分子泵一样,适用于没有水源且环境温度不高的地方,或经常移动的排气机组等。 
 

TY系列风冷复合分子泵安装尺寸表 
 
数据 
 TYFB-600F复合分子泵 
 TYFB-1200F复合分子泵 
 TYFB-1600F复合分子泵 
 
高真空法兰 
 150 CF
 160 ISO-K 
 200 CF
 200 ISO-K 
 250 CF
 250 ISO-K 
 
D1
 φ202
 φ180
 φ253
 φ240
 φ305
 φ290
 
D2
 φ236
 φ236
 φ267
 φ267
 φ296
 φ296
 
D3
 □145.7
 □145.7
 □167.6
 □167.6
 □183.8
 □183.8
 
L1
 128
 128
 142
 142
 161
 161
 
L2
 137
 137
 152
 152
 166
 166
 
H1
 438.5
 438.5
 436
 436
 437
 437
 
H2
 70
 70
 70
 70
 70
 70
 
H3
 178.5
 178.5
 178.5
 178.5
 185.5
 185.5
 
H4
 151
 151
 151
 151
 153
 153
 
泵腿螺钉孔 
 4-M8
 4-M8
 4-M8
 4-M8
 4-M8
 4-M8
 

 
  TY系列脂润滑复合分子泵其叶轮采用国内首创的变截面叶齿、轴承采用脂润滑陶瓷精密轴承,以更高的可靠性实现了泵体的任意角度安装和无油的高真空环境。 
 

TY系列脂润滑复合分子泵安装尺寸表 
 
数据 
 TYFB-650Z复合分子泵 
 TYFB-1300Z复合分子泵 
 
高真空法兰 
 150 CF
 160 ISO-K 
 200 CF
 200 ISO-K 
 
D1
 φ202
 φ180
 φ253
 φ240
 
D2
 φ236
 φ236
 φ267
 φ267
 
D3
 □145.7
 □145.7
 □167.6
 □167.6
 
L1
 138
 138
 150
 150
 
H1
 358
 358
 358
 358
 
H2
 313
 313
 313
 313
 
H3
 108
 108
 108
 108
 
H4
 95.5
 95.5
 95.5
 95.5
 
泵腿螺钉孔 
 4-M8
 4-M8
 4-M8
 4-M8
 

》分子泵电源

  


主要特点:
安全稳定、速度追踪: B系列分子泵电源是基于国际著名品牌半导体功率器件以及高速可编程器件配合应用的程控电源;其工作状态持久稳定,过载能力强,运行数据准确。具有自动跟踪功能(电源在断电、异常问题处理后自动按当前转速跟踪加速)、刹车功能(使正常运行的分子泵按设定时间内停止)、加速过流、运行过流、减速过压、电源欠压、电源过热、泵过热等保护功能,延长和保护泵的使用寿命。 
低温升,适应性强:B系列分子泵电源内置高效率输出变压器,具有超强的过载能力和非常底的温升,适应长久连续的运行工作。
便于自动化集成控制:B系列分子泵电源具有功能齐备的一组外部控制接口,包括单键启/停控制、无源常闭开关故障信号、无源常开开关全速运行信号、0-10V频率模拟信号输出、10V频率同步脉冲信号、485控制等功能。可方便的组建多种真空设备的自动化排气系统。


安装尺寸 

前面板   
 宽480mm×高177mm(厚2mm) 
 前面板到机柜前门最小保留空间 
  
 13mm 
  
 
后面板 
  
 宽440mm×高170mm 
 后面板到机柜最小保留空间 
  
 150mm 
  
 
箱体 
  
 深300mm×宽440mm×高170mm 
 机箱两侧到机柜最小保留空间 
  
 50mm 
  
 

电源电气参数 

项目名称   
 B-1200
 B-1600
 B-3600
 
输出功率 
  
 800W。分子泵正常运转时功耗小于200W-250W,启动加速时小于200W-400W。 
 
输出电压 
  
 0 — 50V
 
输出频率 
  
 0 — 400Hz 
 0 — 350Hz
 0 — 210Hz
 
输出电缆长度 
  
 3米、5米、10米、20米、25米(不推荐,建议将电源就近安放) 
 
零启动加速时间 
  
 4分30秒 
 6分钟 
 10分钟 
 
减速时间 
  
 8分30秒 
 10分钟 
 20分钟 
 
输入电压 
  
 单相交流180V—240V,50—60Hz
 
工作条件 
  
 环境温度0—40℃,相对湿度小于80%
 
型号: F100/110  
技术指标: 抽气速率1/S(空气)110
压缩比N2:>108 H2:5×102
极限压强Pa:6×10-6  
应用领域: 分析仪器:各类质谱仪;所相分析仪;电子显微镜:检漏仪.
工业应用:显象管排气;电子管设备:光盘镀膜设备:检漏仪系统;半导体工艺;离子刻蚀.
科研应用:高能物理;表面分析;真空技术各领域.  
 
磁悬浮分子泵 
 
主要技术特点:
1、MAC系列为全无油的真空泵,可用来产生洁净的超高真空。
2、可以任意角度安装。
3、低噪音,低震动。
4、高运行可靠性。无轴承磨损,无需维护。
5、TMS温控系统可以调节泵温,防止蒸汽在泵内冷凝。
6、装有自动保护装置,以保证在突然断电时,轴承不会损坏。
7、转子叶片一次成型,坚固耐用。因此,最大允许前级压力高达6 mbar。
8、转子及定子叶片都有KEPLA-COAT涂层。因此特别适合于抽除腐蚀性气体。 
  
  
  
技术参数: 
  
抽速 300~3200升/秒 
极限真空度 10-8~10-10mbar 
最大允许前级压强 0.5~6mbar 

 

ATH400M型磁悬浮复合.涡轮分子泵 
 
 
 
[产品介绍] 
    -自动平衡系统
    -内置75oC的加热系统
    -五个活动轴
    -进气口配气体
    -强制动密封
    -在优化泵浦参数的情况下转速可调节
    -低噪音、低振动
    -不需电池
    ATH400M和ATH1000M是专为适用于半导体应用所需的高压,大泵浦速率的要求而设计。
 
  
  
  
技术参数: 
  
 
 


型 号  ATH400M ATH1000M 
进气口法兰 DN160ISO-K DN200ISO-K 
转速(转/分) 39000 33000 
N2泵浦速率(L/S) 400 850 
He泵浦速率(L/S) 360 750 
H2泵浦速率(L/S) 230 450 
N2压缩比 1×108 2×108 
He压缩比 2×103 1×104 
H2压缩比 1×102 4×102 
极限压强(mbar) 1×10-8 1×10-8 
最大流速(sccm) 2000 1200 
最大进气口压(mbar) 1 0.1 
最大换气口压(mbar) 2 1 
最高加热温度(oC) 75 75 
噪音水平(dBA) 39 39 
振动水平(μm) 0.02 0.02 
启动功率(W) 500 500 
正常功率(W) 300 300 
起动时间(min) < 5 < 5 
高度 273mm(10.7in) 304mm(12in) 
直径 193mm(7.6in) 242mm(9.2in) 
重量 15kg(33lbs) 23kg(50lbs) 
推荐前级泵 ADP31or2033 ADP81or2063 
控制器 ACT600M ACT1000M 
电源 90-130Vor170-230V;50/60HZ 


 
Edwards  EXT系列涡轮分子泵 
 
    BOC Edwards EXT泵适用于除最苛刻的半导体应用和科学应用(这些领域可使用STP系列泵)以外的任何领域。STP系列泵使用电磁轴承,EXT系列一般使用球形氮化硅陶瓷轴承和磁轴承的组合形式。陶瓷轴承与传统轴承相比具有更轻、更硬和更平稳的优点,以及寿命长、小振动的优点。由于轴承滚珠和轴承座使用了不同材料,防止了微小凹陷而提高可靠性。 
     BOC Edwards EXT系列涡轮分子泵可以通过TIC控制器或EXC控制器控制。 TIC控制器将涡轮控制和仪器控制合二为一,使用起来更加方便。OEM或有电源的最终用户可以使用EXC控制器在自己的系统中控制EXT涡轮,这可以降低成本。另外还具有如下优点:无油(涡轮分子泵不产生碳氢化合物污染);低维护(无轴承接触,无机械磨损);低振动(比一般轴承的振动低一个数量级);减少冷却(对许多应用来说自然冷却即可);定位任意(可以安装在任意位置)。  
 
EXT70 
 
EXT70型涡轮分子泵技术性能 
EXT70型涡轮分子泵尺寸 
  
 
订货信息 
报价: 
分子泵
水冷FB-600(150CF)34000;水冷FB-1200(200CF)39000;
水冷FB-1600(250CF)44000;水冷FB-3600(400ISO-K)86000;
风冷FB-600(150CF)34000;风冷FB-1200(200CF)39000;
风冷FB-1600(250CF)47000; 风冷FB-110:26000 
 

 
 
 
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